仪器型号： MSP3200

生产商：北京金盛微纳

应用范围：

    本设备为双腔室溅射台，进样室可进行辉光预清洗，反应室设置有4个靶位，靶材尺寸为直径80mm*60mm厚的圆靶材，样品尺寸≦5inch，样品托盘可旋转，镀膜均匀，双腔之间用机械手进行传递，通过电脑界面自动控制，操作简便。电源配有DC/RF/脉冲等三种。可用于溅射各种单层或者多层的金属及氧化物膜以及共溅射镀膜。（备注：本实验室配有数十种金属及氧化物靶材供选择）。